2024-05-13
Is réiteach glantacháin é teicneolaíocht glantacháin léasair a úsáideann léasair gearr-bhulse ard-minicíochta mar mheán oibre. Déantar bíomaí ardfhuinnimh de thonnfhaid ar leith a ionsú ag sraitheanna meirge, péint agus éillithe, rud a fhoirmíonn plasma a leathnaíonn go tapa, agus ag an am céanna cruthaítear tonn turrainge a iompaíonn na truailleáin ina blúirí agus a bhaintear as. Ní ionsúnn an tsubstráit fuinneamh freisin, ní dhéanann sé damáiste do dhromchla an ruda atá á ghlanadh, agus ní laghdaíonn sé a chríochnú dromchla.
I gcomparáid le gnáth-ghlanadh ceimiceach agus glanadh meicniúil, tá na tréithe seo a leanas ag glanadh léasair:
1. Is "próiseas glantacháin tirim" iomlán é, ní gá leacht glantacháin nó réitigh cheimiceacha eile a úsáid, is próiseas glantacháin "glas" é, agus tá an glaineacht i bhfad níos airde ná an próiseas glanadh ceimiceach;
2. Is féidir raon leathan rudaí a ghlanadh. Is féidir an modh seo a ghlanadh ó chnapáin mhóra salachar (cosúil le priontaí láimhe, meirge, ola, péint) go cáithníní beaga fíneáil (cosúil le cáithníní ultrafine miotail, deannach);
3. Tá glanadh léasair oiriúnach do bheagnach gach foshraith soladach, agus i go leor cásanna ní féidir ach salachar a bhaint gan dochar a dhéanamh don tsubstráit;
4. Is féidir le glanadh léasair oibriú uathoibrithe go héasca, ach is féidir úsáid a bhaint as snáithín optúil freisin chun an léasair a thabhairt isteach sa limistéar éillithe, ní mór don oibreoir ach oibriú rialaithe iargúlta, an-sábháilte agus áisiúil, a bhfuil tábhacht mhór aige le haghaidh roinnt iarratais speisialta, mar sin mar imoibreoir núicléach a bhaint meirge píopa comhdhlúthán.
Ba cheart go mbeadh cineál, cumhacht agus tonnfhad an léasair a úsáidtear le haghaidh glantacháin léasair difriúil ag brath ar chomhdhéanamh agus cruth an ábhair is gá a ghlanadh, agus is é an trealamh tipiciúil atá ann faoi láthair ná léasair YAG agus léasair excimer den chuid is mó. Is fiú a lua go n-úsáidtear an próiseas a bhaint meirge léasair ar an dromchla cruach, agus trí na paraiméadair phróisis chuí a roghnú, is féidir dromchla an tsubstráit a leá beagán ag an am céanna le meirge a bhaint, agus tá creimeadh aonfhoirmeach agus dlúth ag an gcambium. ciseal resistant, ionas go mbeidh baint meirge agus cosc creimeadh i bhfeidhm i gcéim amháin. Tá teicneolaíocht glantacháin léasair curtha i bhfeidhm roimh ré sa tionscal.